Атомно-силовая микроскопия

Области применения атомно-силовой микроскопии (АСМ): физика твердого тела, тонкопленочные технологии, нанотехнологии, микро- и нанотрибология, микроэлектроника, оптика, испытательные системы прецизионной механики, магнитной записи, вакуумной техники и др.

Требования к образцам, материалам:

размеры исследуемого образца: диаметр ≤ 30 мм, высота ≤ 8 мм.
размеры сканируемого участка поверхности образца составляют 20×20×3 мкм (опции: 5×5×2 мкм; 10×10×3 мкм; 50×50×3,5 мкм).

Технические характеристики:

Температура воздуха для работы	22±4°С
Атмосферное давление для работы	760±40 мм рт. ст.
Относительная влажность воздуха для работы	менее 70%.
Латеральное разрешение (плоскость XY) микроскопа	2–5 нм (в зависимости от жесткости поверхности образцов)
Вертикальное разрешение (направление Z) микроскопа	0,2–0,5 нм (в зависимости от жесткости поверхности образцов)
Режимы работы	динамический и статический

Просмотры : 5476