Измерение поверхности на атомно-силовом микроскопе

Измерение поверхности на атомно-силовом микроскопе

Области применения атомно-силовой микроскопии (АСМ): физика твердого тела, тонкопленочные технологии, нанотехнологии, микро- и нанотрибология, микроэлектроника, оптика, испытательные системы прецизионной механики, магнитной записи, вакуумной техники и др.

Требования к образцам, материалам:

  • размеры исследуемого образца: диаметр ≤ 30 мм, высота ≤ 8 мм.
  • размеры сканируемого участка поверхности образца составляют 20×20×3 мкм (опции: 5×5×2 мкм; 10×10×3 мкм; 50×50×3,5 мкм).

Технические характеристики:

 Температура воздуха для работы

 22±4°С

 Атмосферное давление для работы

 760±40 мм рт. ст.

 Относительная влажность воздуха для   работы

 менее 70%.

 Латеральное разрешение (плоскость XY) микроскопа

 2–5 нм (в зависимости от жесткости   поверхности образцов)

 Вертикальное разрешение (направление Z) микроскопа

 0,2–0,5 нм (в зависимости от   жесткости поверхности образцов)

 Режимы работы

 динамический и статический

Share :